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擴(kuò)散間清洗石英管作業(yè)流程-豆丁網(wǎng)閱讀文檔頁(yè)-上傳時(shí)間:年月日潔凈鞋防熱手套作業(yè)規(guī)范:.確認(rèn)清洗石英管的管號(hào)及工藝是否結(jié)束.關(guān)閉源瓶閥門(mén)(先關(guān)進(jìn)氣管,再關(guān)出氣管).關(guān)閉各氣體流量.關(guān)閉加熱開(kāi)關(guān),設(shè)置溫度清零.退出SIC槳.溫。

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