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三氯氫硅生產(chǎn)工藝_百度文庫閱讀文檔頁-下載券-上傳時(shí)間:年月日生產(chǎn)工藝三氯氫硅的生產(chǎn)大多采用沸騰氯化法,主要包括氯化氫合成、三氯氫硅合成、三氯氫硅精制等工序。氯氣和氫氣在氯化氫合成爐內(nèi)通過燃燒反應(yīng)生成氯化氫,氯化氫氣體經(jīng)。

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