大連理工大學(xué) 碩士學(xué)位論文 冶金法提純多晶硅過程中氮化硅涂層的研究 姓名:劉美 申請學(xué)位級(jí)別:碩士 專業(yè):材料學(xué) 指導(dǎo)教師:聞立時(shí)譚毅 大連金屬粉末、高純材料等事業(yè)部,熱烈歡[#]2014年10月14日 各位大神 本人研究用金屬硅與二氧化硅在氮?dú)鈿夥障赂邷睾铣裳醯?合成的粉末中氧氮化硅含量約為90% 其余成分大部分為氮化硅 現(xiàn)在想得到純度更高的氧氮化硅[#]2019年9月24日 根據(jù)本發(fā)明氮化硅粉的生產(chǎn)方法,采用液氨對(duì)反應(yīng)產(chǎn)物反復(fù)萃取提純,能夠有效的萃取出副產(chǎn)物氯化銨,控制Si(NH)2中氯的含量,獲得高純度的Si(NH)2中間體Si(NH)2加熱[#]2020年12月6日 法律狀態(tài) 法律狀態(tài)公告日 法律狀態(tài)信息 公開 發(fā)明申請公布后的視為撤 回 法律狀態(tài) 公開 發(fā)明申請公布后的視為撤 回 權(quán)利要求說[#]2012年9月3日 1.一種利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法,其特征在于,包括以下步驟:1)將所述硅片鋸屑粉放入容器內(nèi),再通入保護(hù)氣體,在所述保護(hù)氣體的保護(hù)下進(jìn)行次升溫,[#][0001] 本發(fā)明設(shè)及高純度微米納米級(jí)氮化娃粉的制備方法,具體設(shè)及到利用高純四氯化 娃在高純液氨和有機(jī)溶液中進(jìn)行反應(yīng)制備二亞氨基娃,并對(duì)二亞氨基娃進(jìn)行提純和熱處理 來制備[#]氮化硅材質(zhì)的容器中,焙燒可獲得晶態(tài)氮化硅粉.本發(fā)明低溫反應(yīng)制備了二亞氨基硅粉體,并用液氨洗滌萃取氯化銨提純,后經(jīng)多次熱處理形成高純度納米微米級(jí)球形氮化硅粉.本發(fā)明的制